顽張る低耐圧シリコンパワーデバイス

摘要

低耐圧シリコンパワーデバイスは微細加工技術、デバイス構造の工夫等で、従来のデバイス技術をもとに考えられていツ、ミーノSたトを打ち破るデバイスが出現し、性能は年々改善されている。 本報告では、低耐圧シリコンパワーデバイスの開発動向を紹介する．また、RFフロントエンド用のパワーデバイスの研究開発動向をもとに、将来の電源用パワーデバイスの研究開発動向についても述べる。