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フォトニック結晶を用いた並列処理型エリプソメータ

机译:使用光子晶体的并行处理椭偏仪

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摘要

フォトニッタ結晶による偏光子と波長板のアレーを用いた並列処理型エリプソメータを提案し,試作した.入射偏光に対応する強度分布パターンをCCDで受光し,基本動作を確認した?SiO2薄膜からの反射光の偏光解析を行い,膜厚に相応した変化を観測しエリプソメータとしての基本動作の実証に成功した.
机译:我们提出并制作了一种平行处理型椭偏仪的原型,该椭偏仪使用光子晶体的偏振器阵列和波片。 对SiO2薄膜反射光进行了偏振分析,观察了与薄膜厚度相对应的变化,并成功演示了椭偏仪的基本工作原理。

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