ナノ薄膜熱物性の精密測定と相変化光記録媒体設計への適用

摘要

ピコ秒サーモ·リフレクタンス法を用いて数十ナノ·メートル·オーダーの膜厚を有する薄膜（ナノ薄膜）の室温における熱伝導率と界面熱抵抗の測定を行った。 また、我々が次世代の書き換え型光ディスクとして提案している、HD DVD－ARWにおける積層薄膜間の界面熱抵抗の影響を明らかにするために、これらの媒体の熱解析を実施した。 その結果、以下の点が明らかとなった。 （i）ナノ薄膜の熱伝導率は、膜厚に依存する材料系とはとんど依存しない材料系がある。（ii）熱解析の結果から、媒体中の積層薄膜間の界面熱抵抗を考慮することが重要である。 今後、更に高密度媒体を開発するためには、より高精度な熱設計が必要となる。 この目的のためにナノ薄膜の熱物性を用いることと、および積層薄膜間の界面熱抵抗を考慮することが重要であると考えられる。