電界集束スピント型冷陰極の電子ビーム取り出し効率の改善

摘要

高感度なハイビジョンカメラの実現に向けて，スピント型電界放射陰極を多数並べた冷陰極アレイに高感度なHARP光電変換膜を組み合わせた撮像板の開発に取り組んでいる．これまでに，冷陰極から放射される電子の空間広がりを抑制するための集束電極を冷陰極上に形成した電界集束型冷陰極アレイを撮像板に適用し，撮像動作に成功したが，十分な画質を満たすにはさらなる電子ビーム量の改善が求められる．今回，新たな電界集束型冷陰極の電極構成について検討を行った結果，冷陰極から取り出せる電子ビーム量の向上に見通しを得た．