低コヒーレンス·テラヘルツ波を用いたトモグラフィ技術の研究

摘要

本稿では、テラヘルツ波を使った非破壊検査技術の汎用化·産業化を目指し、光技術で発生させた低コヒーレンス·テラヘルツ波を光源とした時間領域トモグラフィ技術を提案する．低コヒーレンス·テラヘルツ波の発生技術、トモグラフィシステム構成技術について説明したのち、開発した300-400GHz帯トモグラフィシステムの性能（おもに、奥行分解能と平面方向の分解能）について述べる．