プラズモニック導波路と誘電体導波路の結合部における特性解析

摘要

近年、光導波路として、プラズモニック導波路が注目されている。ここでは、漏斗形状のMIM構造プラズモニック導波路とテーパ形状のシリコンストリップ導波路あるいはシリコンスロット導波路との結合部における結合特性を2次元有限要素法を用いて解析し、結合部での結合効率（透過電力）を最大にする構造を検討している。