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机译:3D-MEMS光スイッチモジュールのスイッチング特性
根本成; 水上雅人; 河尻祐子山口城治;
日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所;
MEMS; 光スイッチ; ミラー;
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