AlGaN系深紫外LEDの開発

摘要

現代社会において、紫外線は水／空気殺菌、UV硬化／印刷、半導体露光、紫外線治療、各種分析装置などに広く用いられている。紫外線光源のLED化が実現できれば、小型·高効率で瞬時起動可能などの優れた特性が期待でき、既存の紫外線光源の代替ばかりでなく、新しい紫外線利用技術の発展が期待できる。既に365nmより長い波長のUVLEDはGaInN系LEDにより実用化され本格的応用展開が始まっている。