走査プローブ顕微鏡による表面解析

摘要

走査プローブ顕微鏡は三次元の形状観察ということでは最高の精度を有する装置である。 この特性を活かすことによりほかの計測装置では観察できないものが観察でき，種々の現象のメカニズム解明への手助けとなる。 また今回は表面電位について述べたが，種々のプローブを用いることによりナノレベルの多くの情報（粘弾性，摩擦，磁気，半導体特性など）を得ることが可能である。さらに電界蒸発，電圧付加などによりナノプロセッシングもできる。 ただ安価でなく，良い像を取得するためにはかなり経験を積むことが要求されるなど問題点も多い。