空中超音波フェイズドアレイによる固体材料内欠陥のイメージング

摘要

レーザ励振源を二次元走査して高速計測を行う弾性波源走査法（Scanning Laser Source technique: SLS）を，強力空中超音波を利用して実現することを目指している．この弾性波源走査を空中超音波で行うことができれば，計測対象の範囲が広がるだけでなく，計測システムの小型化，簡便化が期待される．この計測手法を実現する一方法として，空中超音波フェイズドアレイ（Aerial Ultrasound Phased Array: AUPA）の導入が考えられる．本報告では，空中超音波フェイズドアレイによる弾性波源走査法を提案し，その基礎検討として強力空中集束超音波を発生するフェイズドアレイ装置を試作し，擬似欠陥を有する固体材料に対する非接触非破壊検査を試みている．