机译:玻璃基板上的分布式 2 位和 3 位 W 波段 MEMS 移相器
Radiation Laboratory, The University of Michigan at Ann Arbor, Ann Arbor, MI 48109-2122 USA;
Automotive radar; microelectromechanical systems (MEMS); millimeter wave; phase shifter; RF MEMS; switches; true-time delay; W-band;