ZnOのALD成長での平坦薄膜成長条件の調査

摘要

電子線励起アシスト光学顕微鏡（EXA顕微鏡）を用いて生きた細胞を観察することは従来の顕微鏡と比較してより高分解能で観察することができるという利点がある．さらに，より高分解能で観察するためには平坦な発光基板をEXA顕微鏡に用いる必要がある．本実験では，発光基板に用いる材料としてZnOを用い，原子層堆積法（ALD）による平坦なZnO薄膜を得るための成長条件を調査した．得られたZnO薄膜は原子間力顕微鏡（AFM）で表面粗さを，X線回折法（XRD）で結晶状態を，CL法により発光強度の評価を行った．実験により，ジエチル亜鉛のパージ時間を増やすことにより，より平坦な薄膜が得られることが分かった．したがって,原子層定積法により平坦なZnO薄膜を得るためにはジエチル亜鉛のパージ時間を十分にとることが重要であるということが分かった．