ULSIデバイス解析評価技術の現状と今後－LSIの将来の生命線を掘る解析枝術一

摘要

ULSIデバイスの解析評価技術現状をいくつかの事例をあげて解説するとともに、今後デバイスの進展に伴う解析評価技術の課題について展望する。