~(16)O~＋注入Si基板の分光エリプソによるドーズ量見積り法

摘要

分光エリプソによって，~(16)O~＋注入されたSi基板中の酸素のドーズ量が見積もれることを見出した．そのポイントは，分光エリプソ測定における反射振幅比角（Ψ）－波長スペクトルの接線の傾きとドーズ量との相関関係を導くことである．