電気化学反応を利用した窒化ガリウムのウェットエッチングと機能性材料

摘要

電気化学反応を利用したウェットエッチング（電気化学エッチング）により，窒化ガリウム（GaN）多孔質構造を形成した．GaN多孔質層の屈折率は開口率により制御可能であり，その光反射率は開口率に依存して低減した．また，GaN多孔質構造と電解液との界面を利用した光電変換効率は，未加工試料と比較して約40増大し，基礎吸収端の長波長シフトが観測された．母体材料の高い結晶品質を受け継いだGaN多孔質構造のこれらの特徴は，機能性材料として有用である．