日立パワーソリユーションズ半導体などの欠陥を高画像で検出する超音波映像装置を発売

摘要

日立パワーソリュージョンズは、半導体·電子部品内部の微細な構造や剥離·ボイドなどの欠陥を超音波の反射·透過特性を利用して非破壊で検出·画像化する超音波映像装置「FineSATシリーズ」の最新機種「FineSAT7」を発売した。従来機よりも分解能を16倍、測定周期を2倍に向上させたADボードの採用などによる欠陥検出画像の高画質化と、直径300mmウエ一八の一括検査を可能にしたことが待長である。