無機EL保護用ZrO_2の試作と評価

摘要

ガスバリアコーティングによるELデバイスの長寿命化の研究が進められている。我々はテトラキスエチルメチルアミノジルコニウム（TEMAZ）とプラズマ励起加湿アルゴンを用いた室温原子層堆積法によるALD装置の整備及びZrO_2の製膜に成功した。また、ZnS蛍光粒子を用いた分散型無機ELデバイスの作製に成功した。本結果より保護膜として有効なZrO_2の製膜でナノメートルオーダーでの膜厚制御が可能となり、発光強度測定を用いたガスバリア性の評価が可能になった。