音響共鳴を利用した薄膜の評価と外環境モニタリング

摘要

音波が薄層を通過する際の音圧透過率と音圧反射率は周波数依存性を示す。特に音波の1/4波長と薄層の厚さとがー致する共鳴周波数において両者は極値を取る（音響共鳴）。著者らはこの現象を利用して様々な薄膜を評価すると共に、外環境モニタリングを試みているので、その実例を紹介する。