放射光X線回折を利用したセラミックコーティングの構造評価

摘要

本解説記事では，SPring-8の各ビームラインで開発されてきたX線回折を利用した構造計測手法について紹介した．また，BiTのAD膜の構造評価について詳説した．昨今の材料開発では，非常に複雑なプロセスを経て機能性材料が創生されている．基礎物理学の立場に立てば，物質は同じ化学式であれば同じ性質であるべきであるが，実際の材料ではそうでない.往々にして作り手の技量で性能の違う材料となることもある．機能発現の本質を見極めるためには，個々の材料に対して，様々なスケールの結晶構造と物性とを一対一に対応させて議論する必要性がますます増えると考えている．AD膜についても，出発原料粉の化学結合の特徴とAD膜の特徴を一対一に対応させて議論することが重要であり，SXRDを用いた構造研究は重要な役割を果たすと期待する．AD膜の成膜の仕組みを完全に理解するためには，成膜の過程をその場観察する必要があると考えている．機構を解明しないと技術の信用は得られない．