電子顕微鏡のスピン卜□ニクス応用-磁界計測-

摘要

電子顕微鏡によるナノスケール観察はデバイス開発及び製造管理において有用な解析手法のーつである.環境負荷軽減への貢献が期待されるスピントロニクスデバイスの開発においては,電子顕微鏡による電磁界計測技術が有用な解析手法となると期待される.本稿では,低消费電力デバイスへの応用が期待されるスキルミオンの磁界観察,三次元磁界観察,及びサブナノスケール磁界観察への電子線ホログラフィーの応用事例を紹介する.