プラズマプロセスの現状

摘要

以上、プラズマで出来ることやその応用例について見てきた。全てを、詳細に明かすことはできないが、そのいくつかについて概要を見ただけでも多岐に渡っていることがわかるだろう。半導体やディスプレイパネルの製造手段として飛躍的な発展を遂げてきたプラズマプロセスだが、近年では利用される分野は大きく広がってきている。そして、裾野が広がれば広がるほど、装置には多様性や柔軟性、低価格化が求められ独自のアレンジが必要となってくる。プラズマ技術というと、真空はおろか比較的新しい大気圧プラズマでも実用化から20年は経っており、新たな技術開発というと、より複雑で高度な方向に目が向きがちである。しかし、それ以外にもまだまだ発展の余地は残されている。