07 精密機器·極低温装置

摘要

極低温は，超電導を利用したマグネット，線材，デバイスなどの幅広い分野で活用されている。そのなかで極低温小型冷凍機は，極低温状態を連続的に発生させ維持することができるという点で，極低温·超電導利用の普及に貢献している。当社は，長年にわたって培ってきた極低温技術により，極低温冷凍装置およびクライオポンプなどの応用製品を製造，販売している。また，各国の営業および修理拠点を通じたグローバルなサービス体制により，科学技術の発展や健康で豊かな生活の実現といった社会貢献につなげている。極低温冷凍機は，高い信頼性と多くの実績を持つ4KGM冷凍機に代表されるGM冷凍機，低い振動レベルが要求される用途に適したパルスチューブ冷凍機などをラインナップし，医療用MRIを代表とする超電導コイル冷却，理化学機器，電波望遠鏡の素子冷却などに用いられている。さらに，GM冷凍機の応用製品であるクライオポンプシステムも各種仕様の商品をラインナップしている。クライオポンプシステムは，冷凍機によって冷却したパネルにガスを吸着させる方式の真空ポンプであり，主に半導体製造装置に利用されている。