В последние два десятилетия ведутся интенсивные разработки источников нетермальной атмосферной (т.е. получаемой при атмосферном давлении) плазмы (НТАП) для плазмохимических методов модифицирования поверхностей материалов, в том числе таких нетермостойких, как синтетические и природные полимеры. Представленный в работе микроволновый источник НТАП нового типа обладает как признаками диэлектрического барьерного разряда (по конфигурации и низкой температуре ионизированного газа), так и способностью формирования "чистой" плазменной струи подобно классическому СВЧ-плазмотрону. СВЧ-разряд здесь возбуждается в диэлектрической трубке, проходящей поперек волновода перпендикулярно вектору напряженности электрического поля Е (рис. 1а). В такой конфигурации две широкие стенки волновода можно рассматривать как электродную систему из двух плоских параллельных электродов, расположенных параллельно оси разрядной трубки, стенки которой играют роль диэлектрического барьера. Таким образом, мы полагаем оправданным использование при описании подобных устройств термина "микроволновый барьерный разряд".
展开▼
机译：在过去的二十年中，已经对非热大气（即在大气压下产生）等离子体 （NTAP） 的来源进行了密集开发，用于改性材料表面的等离子体化学方法，包括合成和天然聚合物等非耐热材料。本文提出的新型微波NTAP源既具有介电阻挡放电（在电离气体的配置和低温方面）的特点，又具有形成类似于经典微波等离子体加速器的“纯”等离子体射流的能力。微波放电在介电管中被激发，该介电管穿过垂直于电场强度矢量 E 的波导（图 1a）。在这种配置中，波导的两个宽壁可以被认为是由两个平行于放电管轴线的扁平平行电极组成的电极系统，其壁充当介电屏障。因此，我们认为在描述此类设备时使用术语“微波势垒放电”是合理的。
展开▼
