7 極低温冷凍機·クライオポンプ

摘要

当社では，極低温冷凍機とクライオポンプの開発，製造および保守サービスを行っている。極低温冷凍機はMRIなどの超電導機器の冷却，クライオポンプは半導体製造装置に使用されている。高真空クライオポンプSICERAは，世界的な半導体不足の影響で半導体製造装置メーカーからの需要が高く，品質を保持しながらの増産対応に取り組んでいる。また，GM（Gifford-McMahon）冷凍機についても堅実な需要を維持しており，第4世代となる高効率RDE-412シリーズはMRI装置に幅広く搭載されている。そのほか，パルス管冷凍機RPシリーズは量子コンピュータ用希釈冷凍機の予冷手段として実績を積み重ねている。保守サービスに関しては製品寿命を延ばす定期保守の件数を増やしている。