真空構造材料アルミニウム合金の低ガス放出表面処理に関する研究

摘要

WaferやMaskを運ぶ搬送ロボット·装置は，露光装置や検査装置などに搭載されて半導体デバイス製造工程で使用される。製造工程に使用される真空装置には10~（-6）Paオーダーの超高真空が必要とされる。ローツェ㈱から社会人ドクターとして山口大学大学院に入っておこなった研究では，これらに使用する任意形状のアルミニウム合金部品の製造に適応できる，最適研削技術と後工程の化学研磨から構成した極低ガス放出となる表面処理技術を開発し，その低ガス放出性能（目標値=1×10~(10) Pa m~3 s~(-1) m~(-2)以下：ベーキング後）を実証することを目的とした。