グラビアオフセット／フレキソ印刷法によるフレキシブルデバイス用精密パターン形成技術

摘要

精密印刷の研究開発は長年にわたり印刷性能の向上と印刷機能の要求仕様の実現に取り組まれているが，デバイス構築のためには未だ十分に実用化されていない．特に現状では材料使用効率が低く，材料廃棄による環境汚染，エネルギー消費量の増大，設置面積の増大等など弊害を招いている．本論文ではこれに対して極めて高効率な材料使用とパターン精度の高い積層性能を実現し，かつ耐刷性能を改善した凹版グラビアオフセット方式の印刷技術を検証した．多層膜形成時のアライメント補正による層間のトータルピッチを正確に合わせ込む手段とブランケットの膨潤によるブランケット胴直径の変位をリアルタイムに計測し，転移のニップ圧を一定にする基盤の制御を兼ね備える印刷機を開発することによって，プロセスマージンの狭い材料においても十分耐刷性能が得られる可能性が示された．