Плазмохимическое травление в постростовой технологии фотоэлектрических преобразователей

摘要

Проведены исследования плазмохимической технологии травления гетероструктур при формировании каскадных фотоэлектрических преобразователей. Рассмотрен этап формирования разделительной мезаструктуры при различных режимах травления и последующего удаления нарушенного слоя методом жидкостной химической обработки гетероструктуры. Проведено исследование влияния методов травления мезы на электрические характеристики элементов. Разработана технология формирования фотоэлектрических преобразователей с низкими значениями токов утечки менее 10~(-9)А при напряжении менее 1V с высокой стойкостью элементов к деградации.