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机译:HfO2:Y2O3 ultrathin nanolaminate structures grown by ALD: Bilayer thickness and annealing temperature effects on optical properties
Universidad Nacional Autónoma de México (UNAM) Centro de Nanociencias y Nanotecnología (CNyN);
CONACYT - Centro de Nanociencias y Nanotecnología;
Centro de Investigación Científica y Educación Superior de Ensenada-CICESE. EnsenadaCentro de Investigación en Materiales Avanzados S. C.Universidad Autónoma de Baja California Instituto de Ingeniería;
Atomic layer deposition; Thermal treatment; Tunable optical properties; Ultrathin nanolaminates;