ラム波の特長を利用したガスセンサの基本的検討

摘要

板厚が波長に比べて等しいか或いはそれ以下の場合にラム波が効率よく励振される．ラム波は基板裏面で反射しながら伝搬する．そのラム波の特長を利用した水素ガスセンサを提案する．センサ感度の感応膜の膜厚，ラム波モード依存性を理論解析と実験によって求める．ラム波遅延線の圧電基板はY-cut Z方向伝搬·LiNbO{sub}3基板（基板厚91μm，両面研磨）を用いた．表面にはアルミニウムで波長100μmのすだれ状電極をフォトエッチング法で設け，裏面にはRFスパッタリング法を用いて感応膜を装荷した．感応膜としてパラジウム銀合金を用いた．実験では水素濃度9.1％で感度5.4ppmを得ることができた．