無機垂直配向膜を用いた液晶の配向制御技術の研究

摘要

現在、液晶プロジェクタ用液晶素子の課題として、耐光性及びコントラストの向上がある。本研究では、垂直配向(VA)モードを用いた高品質なプロジェクタ用液晶素子作製のための垂直配向制御技術の確立を目指し、有機垂直配向膜より耐光性に優れた二種類の無機膜について、液晶の垂直配向特性について調べた。無機膜としては、反応性RFスパッタリング法で作製したSiO{sub}x膜及びPBII&D（プラズマベースドイオンインプランテーション＆デポジション）法で作製したフッ素化ダイアモンドライクカーボン(F-DLC)膜を検討し、その膜上での液晶の配向特性及び電気的特性を明らかにした。