I_(DDQ)を用いたLSIの劣化兆候の検出

摘要

電源電流（I_(DDQ)）情報は論理情報に比べて高い故障検出感度を有しているためLSI評価に広く用いられている．我々はこの技術を特性の劣化兆候の検出へ適用した．初期の劣化は微小なリーク電流を発生させるため識別に工夫が必要である．さらに、劣化の進行に伴うリーク電流の増加を確実に検出する必要がある．このため、テストベクター対I_(DDQ)値のデータをフーリエ変換して算出されるパワースペクトルの変化をモニターすることで顕在化を試みた．この結果、正常値に対して約1/1000の微小変動からの進行を捉えることができた．このデータをもとに未来の論理故障に到る時期を予測するための問題点を述べる．