開放故障に伴う不安定論理の固定化

摘要

不安定な出力論理を有するフローティングゲート故障に対して、出力論理値を固定化する実験を行った．実験はゲートオープン故障を作り込んだInverter回路に外部からレーザを照射する方式である．その結果、出力論理は”H”固定した．同時にI_(DD)値も変動した．この変動値は正常状態の特性の動作点に一致した．そして、レーザ照射を止めると特性は元の状態に戻った．更に、ゲート電極を共通にした2個のInv回路の一方側にレーザ照射を行う実験では他方側の出力が"H"に固定した．単体Trによるレーザ照射実験と合わせてこの現象に関して述べる．