2つの縦振動子と斜めスリット付き一様棒を用いた複合振動源の振動特性

摘要

従来，超音波を用いた接合の振動方向は一方向の直線状であることが多いため，接合対象へのダメージが大きく，接合強度が小さいことが問題として挙げられている．そこで我々は振動方向を面状にすることで，接合対象へのダメージが縦振動のみの場合と比べて小さく，接合強度の向上が見込めることを示してきた．本研究では，2個の縦振動子と斜めスリット付き一様棒を用いた新たな複合振動源の開発を行い，その振動特性について検討を行った．その結果，振動源の左右でインピーダンス特性に非対称性があるものの，両振動子にそれぞれ縦またはねじり振動共振周波数を同時に入力することで，面状の振動を得られることが分かった．