ВЛИЯНИЕ РАСХОДА СМЕСИ ГАЗОВ НА ПРОЦЕСС СИНТЕЗА АЛМАЗА ИЗ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО ПОТОКА СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ

摘要

Развит метод газофазного осаждения алмазных структур с использованием высокоскоростной струи для переноса активированных в сверхвысокочастотной плазме газов к подложке. Алмаз синтезировался из смеси водорода с метаном, концентрация которого составляла 1%. Исследовано влияние расхода газовой смеси на синтез алмазных структур при неизменных составе подаваемой смеси, давлении в камере осаждения и температуре подложки. Установлено, что увеличение расхода приводит к увеличению плотности поликристаллической пленки и размера кристаллов алмазов, формирующих пленку. Проведен численный анализ состава смеси на выходе из разрядной камеры в зависимости от расхода смеси. Показана корреляция состава смеси со скоростью роста и качеством алмазных структур.