フリップチップ実装用40Gbps導波路型PD

摘要

1.31μm/1.55μm帯兼用のフリップチップ実装用40Gbps導波路型PDの開発を行った。 非対称導波路構造を用いることで，両波長帯に対して0.8A/W以上の高い感度が得られ，帯域も45GHz以上と良好であった。 フリップチップ実装技術を用いて，ワイヤーの寄生インダクタンスを抑えたPDプリアンプモジュールを試作した結果，1.3μm，1.55μmの各人射光波長に対して，最小受信感度：-6.4dBm，-6.1dBmと両波長ともITU-T G693規格に準拠する特性が得られた。