キャビテーション環境下における光ファイバハイドロホンの適用可能性の検討

摘要

キャビテーション環境での絶対音圧計測は半導体基板における高周波超音波洗浄において重要である。しかし，従来のニードル型ハイドロホンではキャビテーション気泡により損傷の恐れがある。筆者らは，屈折率変調方式の光ファイバハイドロホンを超音波洗浄機の絶対音圧計測に適用を試みている。光ファイバハイドロホン及びマイクロホンは集束超音波の分野で利用されてきているが，キャビテーション気泡の影響による出力変化が音圧計測の妨げになることが問題となる。今回の報告で，キャビテーション環境で光ファイバハイドロホンの適用可能性について検討する。検出機構を増やし気泡の影響を補う計測法を提案する。