ダブルモード型SAWフィルタの不要波モードの観察と低損失化に関する考察

摘要

レーザプローブ法を用いて、42°Y－XLiTaO{sub}3基板上に伝搬するリーキー波の観察を行った。 構造はダブルモード共振器型SAWフィルタ構造を選んだ。 通常のダブルモード共振器型構造では、バスバー端に沿って主伝搬路にほぼ平行に伝搬する不要波と、主伝搬路に対して斜め約40°方向に放射される不要波を観測した。 我々は、バスバー端の外側に音速の遅いグレーティング領域を形成し、上記の主伝搬路にほぼ平行に伝搬する不要波が抑圧できる事を上記観測法にて確認し、さらに、EGSM用フィルタに本構造を適用する事により、より低損失な特性が得られる事を確認した。 また上記グレーティングバスバーの開口の最適条件を実験的に見いだした。