MEMS光スイッチモジュール

摘要

本稿ではMEMSミラーアレイと空間光学系により構成される3-D MEMS大規模光スイッチについて述べる。 MEMSミラーは単結晶シリコンから構成されており、高アスペクト比のトーションバネにより2軸方向に回転可能になる様、支持されている。 また立体テラス電極の導入により、従来の平板電極を用いる構成に比べて低電圧駆動を可能にしている。スイッチの入出力部を構成するコリメータアレイには、ポリマー成形部品と細径フェルトルより成る光ファイバアレイ、およびポリマー製マイクロレンズアレイを用いており、高精度でありながら低コスト化を実現している。 これまでに100入力、100出力構成の光スイッチを試作し、挿入損失4.0 dB、スイッチング時間3 msと良好な特性を確認している。