導波部を設けた位相共役素子による－表面凹凸固体試料の画像観察

摘要

非線形圧電性を用いた超音波位相共役素子と、それに有効に音波を導くための導波管を組み合わせ、表面に凹凸のある金属試料を反射型で画像化した。 表面凹凸の影響は従来の画像法に比べ軽減され、表面の弾性的性質の分布や近表面下の欠陥を凹凸の影響から分離して観察することに成功した。