テーブル固定立軸円テーブル形平面研削盤SVR70Fの開発

摘要

IT関連業界においては，サファイアガラス，石英，シリ コンおよびセラミックスなど脆性材料の高精度加工の需要が 拡大している。 液晶業界においては，ノートパソコンおよび 携帯電話などの小型#12539;軽量化に伴い，液晶パネルの薄型加工 が求められている。 近年，これらの従来加工プロセスである ラップおよびポリッシュでは，サイクルタイムが長く，研削 による代替の要求が高まり，平面研削盤においても薄型ワー ク対応，高平坦精度および高仕上げ精度の要求がますます高 まっている。