Общая теория анодного окисления кремния и его соединений (аналитический обзор)

摘要

Обобщены результаты исследований процессов анодного окисления в легирующих электролитах кремния, карбида и нитрида кремния. Выявлена единая природа контролирующей стадии, что положено в основу общей теории анодного окисления данных материалов. Приведены анодные реакции взаимодействия Si, SiC и Si_3N_4 с компонентами нитратных, фосфатных, арсенатных и бортных элекгролитов, отвечающие за их механизмы протекания процессов анодирования. Проведен расчет параметров полевого транзистора с анодным оксидом в качестве подзатворного диэлектрика: удельной емкости подзатворного диэлектрика, удельной крутизны и тока стока. Установлено, что эта модель обеспечивает удовлетворительное совпадение с экспериментальными данными. Даны рекомендации по обеспечению экологической безопасности электролитов.