精密機器·極低温装置

摘要

SICERAクライオポンプは，従来世代機であるSmartより高い排気性能と省エネルギーを実現した新世代機Ultraの販売を開始している。本報では，半導体イオン注入装置への搭載を目的とし，Ultraをベースに水素ガスの排気性能に特化して開発した機種について詳述する。当社製クライオポンプは，水素ガスを排気する活性炭がポンプ開口·排気対象装置に対して露出していない非露出型設計を採用しており，水素ガス以外の異種ガス（窒素·水など）の導入による活性炭汚染や経時的な性能劣化が少ないことを特長としている。競合他社の採用している露出型設計に比べて活性炭へのガス導入効率が低いことから，初期の水素排気速度自体は競合比で15程度劣っていた。