カーボン真空蒸着膜薄膜のガス応答特性

摘要

単一の炭素原子からなり構造の異なる物質として、ダイヤモンド、グラファイト及びフラーレンなどがある。 その中で、真空蒸着で容易に薄膜ヒできるC{sub}60を感ガス材料として用いた。 センサの素子構造はガラス基板上にインタ一デジタル型AuあるいはPtをスパッタ蒸着した電極を使用した電隆上のC{sub}60薄膜の膜厚は約540Aである。 検出に用いたガスほ大気環境に強く影響を与えるCO{sub}2やNH{sub}3その他のいくつかの有害ガスに対して、ガス暴露による電気抵抗の変化とその芯答特性について調ぺた。 その結果、水溶性で電離度が高く、また極性分子は高感度で応答性もよいが、トルエンやベンゼンなどの不溶のガス分子は殆ど応答しないことがわかった