三次元導波路型光接続デバイスの作製

摘要

ファイバー間、ファイバーと光導波路、あるいは光導波路と受発光素子の間の簡便精密な接続、特に3次元的な接続技術は不可欠であると考えられる。 そこで、我々はフェムト秒レーザーアシステッド自己形成光導波路(fs laser assisted waveguide self-writing)3次元接続技術を周発した。 この技術は波長800nmのフェムト秒レーザーで光導波路の成長方向および太さを制御しながら、同時に488nmのCWアルゴンレーザーからのエネルギー補助と組み合わせて、光導波路を作製し、無調芯で光ファイバーと光導波路の3次元接続やY分岐光導波路など導波路型光素子の作製を実現できる。