Основные характеристики фемтосекундных лазеров и их применение в производстве электронных средств

摘要

Статья посвящена классификации и применению фемтосекундных лазеров (ФЛ) в производстве электронных средств. Показано, что для современной микро- и нано-обработки изделий электронной техники необходимо увеличение пиковой выходной мощности излучения за счет использования импульсов фемтосекундного диапазона (10~(-15) с) и способы ее увеличения. Отмечено, что использование фемтосекундных лазеров в механических и контрольно-измерительных производственных операциях стало частью базовых процессов современного электронного производства. Приводятся данные по мировому рынку продаж некоторых типов ФЛ в 2015— 2021гг.