MEMS技術を用いた室温動作·高感度·高速テラへルツセンシング

摘要

基礎科学，医学，薬学や安全·安心分野などへの応用が注目されているテラへルツ技術を社会の様々な場面に広く応用展開していくためには，極低温への冷却を必要としない高感度かつ高速のテラへルツ検出技術の開発は必要不可欠である。特に，テラへルツイメージング用のカメラに応用できるような集積可能な半導体検出器のニーズは極めて大きい。