スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会第171回定例研究会開催報告

摘要

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）の第171回定例研究会が2022年8月1日（月）に開催された。今回はSP部会初の試みとして，対面/オンラインハイブリッドでの開催となった。会場の機械振興会館の音響設備をZOOMのホストPCに接続することで会場参加，オンライン参加問わずストレスなく質疑応答やディスカッションを行うことができた。講師の方々は皆さま会場へお越しいただき，休憩時間中や閉会後のひと時に参加者の皆様と議論されるなど，対面ならではの密度の濃い時間になったと感じている。当日の参加者数は大学，企業から会場で16名，オンラインで15名の計31名であった（Fig.1）。