パルスパワー·放電プラズマのレーザ応用ならびに環境·農業応用

摘要

レーザ光や放電プラズマは，半導体製造，環境改善技術，表面処理·改質などの様々な分野で利用されている基幹的な技術である。本稿では，上記に関連する著者の研究について紹介する。レーザ干渉計はレーザを使った代表的な手法である。本研究ではオゾナイザの放電空間のガス温度の推定にレーザ干渉計を用いた。オゾンの利用分野は広く，オゾナイザの高効率化のための基礎研究も数多くなされてきた（例えば参考文献）．原料ガス温度はオゾン生成効率を直接決めるパラメータとして重要である．主なガス温度測定の方法としては，発光分光による回転温度の測定による方法や熱電対を用いる方法などがあるが，本研究では，レーザ干渉計を採用し，沿面放電型オゾナイザ放電部の原料ガス温度を推定した．