ハイブリッド?オートコリメータ技術と応用: 前世紀の技術に複数の最新技術を融合。先進的?かつ複雑なレーザー&光学測定を実現

摘要

オートコリメータの光学機器としてのコンセプトは、すでに1世紀前に正確かつ非接触の角度測定技術として確立され、以来、光学素子の角度測定や位置合わせに使用されてきた長い歴史がある。一方、今日のフォトニクス開発では、より新しい、高機能な光学系とレーザーの位置合わせおよび測定技術が求められる。本稿で紹介する新しいハイブリッド?オートコリメータ技術は、従来のオートコリメータ技術に種々の新しい技術を搭載し、産業用途を含む最新のアライメントセンシングやメカニカルな位置合わせなどへの応用を実現したものである。