Процессы уплотнения пористых материалов пиролитическим карбидом кремния лежат в основе газофазных технологий получения волокнистых композиционных материалов с карбидокремниевой матрицей [1] и покрытий на материалах, обладающих пористостью [2]. Условием, обеспечивающим высокий уровень плотности и равномерность насыщения, является длительное сохранение открытой пористости для проникновения реагента внутрь подложек [3]. В настоящей работе рассмотрено влияние температуры на кинетику процесса осаждения карбида кремния из метилсилана CH_3SiH_3 в условиях пористой среды. Экспериментальное исследование проводили при температурах 620, 650,680 deg С. В качестве подложек использовали жесткие каркасы из коротких алюмооксидных волокон (исходная плотность 0,38 г/см~3 , пористость около 90 %). Изучали изменение массы подложек в ходе процесса осаждения. По результатам экспериментов были построены зависимости изменения плотности образцов от времени (рисунок).
展开▼
机译：多孔材料简化过程热解碳化硅的核心气相技术获取纤维复合材料和карбидокремниев[1]和涂层材料,具备矩阵多孔[2]。均匀密度和饱和水平是长期维持开放内部的多孔渗透试剂一些垫子[3]。温度对动力学过程的影响碳化硅метилсила中的沉积CH_3SiH_3多孔介质条件。实验研究进行时620 650.680 deg c作为温度从短一些垫子利用硬骨架纤维алюмооксидн0.38%(初始密度g / cm ~ 3、多孔大约90%)。一些垫子过程中质量的变化沉积。建造依赖密度变化时不时样本(图)。
展开▼
